业界称三星电子正研发取代碳化硅聚焦环的新材料 碳化硼出有力备选方案

财联社3同月2日电，三星电子将要开发设计取代碳化硅(SiC)揭示环(Focus Ring)的新材料。业界消息指出，硬度发挥优秀的碳化硼(B4C)成为三星有力备选提案。三星为将B4C打造成新一代揭示环材料，将要进行相关开发设计。揭示环在矽产业中，主要用于硅片蚀刻生产工艺，除了能单独硅片之外，也有持续电浆体密度、不必要硅片惨遭污染等功效。 (DIGITIMES)

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